… bis 8 kHz Auflösung ab 12 nm Linearität ab 0,5 µm Für präzise Abstands- und Dickenmessungen Kleinster konfokaler Controller auf dem Markt Robustes IP40 Aluminiumgehäuse Direkte SPS-Anbindung dank Industrial…
…Überwachung der Ausrichtung von Linsen mit konfokal-chromatischen Sensoren Konfokal-chromatische Sensoren werden eingesetzt, um die Ausrichtung der Optik zu messen. Mehrere Sensoren messen dabei direkt auf die Optik,…
…Überprüfung auf Risse und Abbrüche Konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon werden eingesetzt, um Risse und andere Fehlstellen auf dem Wafer zu erkennen. Dank der schnellen Oberflächenkompensation im Controller…
…Wafer-Dickenmessung / TTV Konfokal-chromatische Sensoren messen von beiden Seiten die Dickenabweichung bzw. die Waferdicke. Über das Dickenprofil des gesamten Wafers kann auch die Verwölbung und Verbiegung des Wafers…
… Sensoren erfasst werden. Zur hochgenauen Füllstandsmessung von Flüssigkeiten können beispielsweise konfokal-chromatische Sensoren eingesetzt werden. Der Pegelstand von flüssigem Aluminium kann mit…
… und finden auch Anwendung in Trockenprozessen. Bei der optischen Dickenmessung bewähren sich konfokal-chromatische Sensoren und auch Weißlicht-Interferometer für die Inline-Dickenmessung von…
… Auflösung Industrietaugliche Controller mit idealem Signal-Rausch-Verhältnis Passives Messsystem Konfokal-chromatische Sensoren der Serie confocalDT werden zur schnellen Abstands- und Dickenmessung…
… Traversiergeschwindigkeiten bis zu 64 m/min für dynamische Querprofilmessung Konfokale Technologie mit Genauigkeiten bis zu +/-0,3 µm Material- / und legierungsunabhängige…
… Traversiergeschwindigkeiten bis zu 64 m/min für dynamische Querprofilmessung Konfokale Technologie mit Genauigkeiten bis zu ±0,3 µm Material- / Legierungsunabhängige Kalibration und…
… Micro-Epsilon bietet ein breites Programm an konfokalen Sensoren für Messaufgaben in zahlreichen Branchen. Da der Strahlengang der konfokalen Sensoren axial verläuft, treten keine Abschattungseffekte auf. Somit können…
